截至13:24,中证半导体材料设备主题指数(931743)涨2.19%,样本股中,中微公司涨2.29%,北方华创涨4.27%,拓荆科技跌0.28%,长川科技涨1.42%,华海清科跌0.15%,沪硅产业跌0.05%,中科飞测涨6.74%,南大光电涨0.68%,江丰电子涨1.48%,安集科技涨1.39%。截至4月21日,中证半导体材料设备主题指数近1年涨幅72.66%。半导体设备ETF易方达(159558)跟踪中证半导体材料设备主题指数,持续获得资金涌入,前一交易日获资金净流入2511.12万元。截至前一交易日,该基金近一周合计净流入4.64亿元,近一月合计净流入2.62亿元,近三月合计净流入14